深度处理技术常用的是臭氧—活性碳（O3-BAC）。臭氧深度处理工艺的原理，就是利用臭氧的强氧化能力，对水中溶解性有机物，卤代甲烷前驱物，以及产生异味物质(水中土霉味物质、2-MIB等)的氧化去除，微生物的消毒杀菌等的深度净化处理。

    臭氧化-两级活性炭工艺是采用臭氧氧化、吸附活性炭、生物活性炭滤池联用的方法，将臭氧化学氧化、活性炭物理化学吸附、生物氧化降解几种技术合为一体， 其主要目的是去除原水中微量有机物和氨氮，提高饮用水的安全性。在生物活性炭吸附前进行臭氧预氧化，一方面可以初步氧化水中的有机物及其他还原性物质，以 降低生物活性炭滤池的有机负荷；另一方面，臭氧预氧化可以使部分难生物降解有机物变为易生物降解物质，可使水中的大分子转化为小分子，改变其分子结构形 态，提供了有机物进入较小孔隙的可能性，从而达到水质深度净化的目的。臭氧预氧化同时提高了生物活性炭滤池进水的可生化性，从而有利于硝化细菌的增值，利 用生物氧化的方式进一步去除有机物和氨氮，节约运行成本。

     采用深度处理工艺后的出厂水，其浊度、耗氧量、色度等水质指标均达到了目前发达城市的水质标准。